EFMS技术Te薄膜的制备及其场内粒子分布的COMSOL模拟

来源 :郑州大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guocheng2244

【摘要】

：

Te薄膜是一种VI族窄带隙元素半导体材料,晶格缺陷作为受主使其表现出P型导电性。Te位于Se和Po之间,具有半金属性,使其表现出多价性,因此具有不同的晶体结构。由于具有高导电性,良好的机械性能,使得Te薄膜具有一系列优异的性能,如热电效应、压电效应、非线性光响应、催化活性以及光电效应等,可广泛应用于各种领域,特别是微电子、光电子设备领域,如气体传感器、红外探测器和光存储等。Te薄膜有多种制备方法,

【作者】

：

张世慧

【出处】

：

郑州大学

【发表日期】

：

2019年07期

【关键词】

：

Te薄膜能量过滤磁控溅射 COMSOL Multiphysics 光电性能异质结器件

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