【摘 要】
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在大尺寸光学元件面形的拼接测量中,各子孔径采用数字波面干涉仪进行的是相对测量,因此参考平晶的误差将不可避免的进入测试数据中,并作为系统误差使得拼接误差极大的上升。该系统误差不能使用现有各种拼接误差均化算法解决,必须使用附加测试来标定及修正。针对此,本论文作了如下的研究：(1)深入分析了子孔径拼接中存在的各种误差,指出由于单个子孔径测量而引入的标准平晶的误差作为系统误差在拼接过程中会被放大,指出修正
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在大尺寸光学元件面形的拼接测量中,各子孔径采用数字波面干涉仪进行的是相对测量,因此参考平晶的误差将不可避免的进入测试数据中,并作为系统误差使得拼接误差极大的上升。该系统误差不能使用现有各种拼接误差均化算法解决,必须使用附加测试来标定及修正。针对此,本论文作了如下的研究：(1)深入分析了子孔径拼接中存在的各种误差,指出由于单个子孔径测量而引入的标准平晶的误差作为系统误差在拼接过程中会被放大,指出修正该系统误差的必要性。(2)研究了三面互检方法的原理,编写了实际计算程序,建立了保障三面互
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