基于机器视觉的TFT-LCD点缺陷检测系统的研究

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作为平板显示器(Flat Panel Display,简称FPD)的主流器件,薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor–Liquid Crystal Display,简称TFT-LCD)以其产品轻薄、低功耗、低辐射、高清晰度等优点而广受消费者的青睐。但由于TFT-LCD是属于高精密技术与高材料成本的产业,生产流程复杂,工艺要求极高,制备过程中容易产生各种各样的显示缺陷,尤其是最为常见的点缺陷。作为提高产品品质,降低成本的必要手段,TFT-LCD点缺陷的检测技术显得非常重要。当前,如何在生产线上实现TFT-LCD点缺陷的高速自动检测是TFT-LCD生产研究的重要课题之一。本文在分析研究TFT-LCD点缺陷特征和规律的基础上,提出了一种基于机器视觉技术的TFT-LCD点缺陷检测方法,并依据该方法设计和搭建了一套集机器视觉、数字化图像处理技术为一体的TFT-LCD点缺陷检测系统。该系统在采集得到高质量TFT-LCD的图像的基础上,结合点缺陷的特点,依据本文提出的方法对图像进行处理,最终实现对被测对象TFT-LCD点缺陷快速准确的检测的目的。在硬件系统实现上,设计了由变倍镜头、面阵CCD、图像采集卡及三维移动平台构成的图像采集装置。在软件系统实现上,综合运用图像增强,图像分割,边缘提取等图像识别与处理技术,开发了基于VisualC++6.0集成开发环境下的实时采集、图像处理及点缺陷特征识别的软件检测系统。通过对TFT-LCD的典型点缺陷进行试验性检测,取得了令人满意的实验结果,为以后研究处理速度更快、可靠性更高的检测技术奠定了基础。
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