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随着科技的快速发展，材料等领域的研究已经深入到微米级和纳米级尺寸，用于微小力测量的实验仪器越来越广泛的被使用，其在微电子机械系统、显微硬度测试、纳米材料研究和实验、生物科学研究及应用等领域发挥了越来越重要的作用。由于受到标准砝码加工技术等因素的制约，国内可溯源及测量的最小的力大约为mN级，处于10-3N-10-4N的范围内。因此迫切需要研制出一种使用方便、准确可靠的微小力计量测试仪器，以提供10-5N以下力的计量。通过查阅国内外参考文献，对国内外研究成果进行了对比，采用差动式平行四边形柔性铰