本文主要研究调幅式电感位移传感器精密测量系统中涉及的高精度载波信号发生技术、高精度数字相敏检波技术、数字滤波及线性拟和等关键技术,目的是进一步改善调幅式电感位移传感器精密测量系统的测量精度,适应纳米级测量的要求。本文研究了电感位移传感器的结构、测量机理以及其整个测量系统的系统架构,并通过试验认真分析了传统的电感位移传感器精密测量电路的优缺点,结合本课题的研究需要和技术要求,对传统电感位移传感器测量系统稳定不高,线性测量范围小等不足之处进行了改进。研制了以DSP为控制核心的调幅式电感位移传感器精密测量系统,并对其进行实验验证。本文所作的具体研究工作如下:首先,从电磁兼容角度分析了整个测量系统的干扰,并对主要干扰因素如电磁干扰、电源扰动等进行了详细的分析,提出避免或减弱系统干扰的措施,为系统进行优化设计奠定理论基础;其次,在分析直接数字频率合成技术(DDS)的原理、结构及优化方法的基础上,本文设计了基于FPGA的低功耗、高稳定性的正弦信号发生电路,为电感位移传感器提供激励信号;再次,针对传统的数字相敏检波电路的不足,本文提出了一种改进的数字相敏检波方法,设计出电路结构灵活、检波精度高的改进型数字相敏检波电路;最后,研制了以DSP为核心的调幅式电感位移传感器精密测量电路,并研制了系统与PC机的USB总线接口以及完成数字滤波、数据拟和、自校准等数据处理软件的编制,并对整个系统进行测试,实验证明系统各项性能指标基本上达到了设计要求。