【摘 要】
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该文对以铌酸锂晶体为基底的4×4定向耦合器型光波导开关进行了深入的理论研究.从光在矩形波导中的传输原理出发,用有效折射率法建立了矩形波导的模式本征方程,从而得到了波
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该文对以铌酸锂晶体为基底的4×4定向耦合器型光波导开关进行了深入的理论研究.从光在矩形波导中的传输原理出发,用有效折射率法建立了矩形波导的模式本征方程,从而得到了波导的有效折射率.在此基础上我们设计出了传播波导.从耦合模方程出发,研究了光在耦合波导中的功率转移关系,导出了耦合长度表达式,设计出了方向耦合器.通过阐述对比单电极结构和交替Δβ电极结构,选用并设计了适合该芯片的交替Δβ电极结构.该文结合该芯片的研制分别对波导器件工艺、光刻、溅射、扩散、研磨、套刻电极等工艺进行了详细研究,结合该芯片制作进行了实验研究.
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