本论文主要研究针对危化品可燃性气体检测设计的微结构气体传感器。目前生产的催化燃烧式气体传感器采用传统手工绕线、涂覆工艺,生产的器件存在一致性差、匹配性不好的缺点。本论文通过MEMS技术和平面金属薄膜技术完成催化燃烧式气体传感器制作,主要研究计算机有限元结构设计、气体敏感材料合成、掺杂修饰改性技术、微加工工艺、测试系统的研究及传感器性能测试等内容。　　 本论文首先从传感器的关键部件——微热板结构设计进行研究,对传感器进行材料优化选择,确定微热板材料厚度及电极图形结构尺寸,实现降低器件功耗的目的。其次,利用有限元热电耦合分析微结构气体传感器及带有引线的情况,并对微热板的加热电压与热场分布进行仿真。　　 搭建传感器测试系统,室温工作状态下,系统研究微结构气体传感器的性能及数据处理。试验结果表明,煤油气体传感器的最佳测试范围为0～2000ppm,传感器的迟滞为0.93％F·S,重复性为2.06％F·S,线性度为4.08％F·S,准确度为4.66％F·S。　　 微结构催化燃烧式气体传感器广泛应用于化工、石油、冶金、制药、能源、煤矿等领域,已成为各种可燃性危化品生产、运输、存储及使用等安全监控的有效工具。