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贵金属(金、银)纳米结构的局域表面等离激元(LSP)近场增强特性是提高半导体器件发光效率的重要途径之一。本论文围绕有序排列、尺寸可控纳米银结构阵列的LSP对硅基半导体薄膜a-SiN_x:O材料发光效率的增强研究,对不同尺寸纳米银六角阵列在a-SiN_x:O介质中的LSP共振特性进行仿真,分析了纳米银六角阵列中纳米银尺寸和间距对实现LSP与有源层a-SiN_x:O共振耦合的影响,获得了蓝光最佳耦合状态的纳米银尺寸。本文计算了最佳尺寸的纳米银阵列在a-SiN_x:O薄膜蓝光激发下的近场增强、极化模式和垂