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MEMS (Micoelectromechanical system)加速度计以其优越的性能和应用价值而被各国科学研究机构、各国高校和公司视为重点研究对象。MEMS加速度计在汽车安全气囊、地震监测仪、手机、游戏机等消费领域有广泛的应用。在一些应用中,加速度传感器检测系统中过大的超调量会导致系统的误动作。例如,汽车安全气囊系统中加速度传感器检测系统中过大的超调量会导致安全气囊在错误的时刻打开。因此,对MEMS加速度计动态性能的研究与优化是非常必要的。目前数字电路以其抗干扰能力强,精度高等优点成为了主要