论文部分内容阅读
大口径高分辨率空间光学系统是世界上的热点研究领域。与欧美国家相比,我国在薄膜衍射元件的制作工艺方面还处于起步阶段,距离国外先进水平有较大的差距。本文针对大口径薄膜衍射元件制备工艺中存在的问题进行了研究,主要完成的工作包括以下几个方面:1、摸索了 4台阶薄膜衍射元件制备工艺。主要包括:石英母版制作、薄膜转印两大步骤。石英母版制备过程包括:两次涂胶、两次曝光显影、两次离子束刻蚀。薄膜转印过程包括:溶液涂覆、高温烘烤、冷却分离。通过对制备工艺参数的优化,提出了一套完整的薄膜衍射元件制备工艺,可重复性好、成