纳米级金属薄膜厚度的SPR检测方法研究

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【摘要】

：

纳米级金属薄膜材料具有特殊的性能,在现代科技如微纳光电子器件有着重要应用。该薄膜的特殊性能与其厚度密切相关,因此需要高精度测量厚度参量。目前能够高精度测量纳米级金属薄膜的仪器主要是扫描探针显微镜(SPM),椭圆偏振光检测仪以及台阶轮廓仪等等。但是由于价格昂贵和结构复杂,限制了它们更广泛地应用。为了解决上述问题,研究设计了一种基于表面等离子体波共振(SPR)效应的马赫—增德尔(Mach-Zehnde

【作者】

：

辛金栋

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2012年12期

【关键词】

：

金属薄膜表面等离子体波共振效应(SPR) 相位检测干涉分段二次拟合

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