作为微机械系统的分支,压电驱动式微型泵受到各国研究人员的关注。对其所开展的研究不仅具有重要的学术价值,而且在生物、制药、化学分析、电子器件冷却等领域都具有广阔的应用前景。压电泵是以压电元件作为换能器的新型流体传输装置。本文从理论上分析了振子支撑状态、阀孔与阀心的距离、进出口阀在泵腔中的位置对压电泵性能的影响,并进行了相应的实验测试,从而为提高单腔或多腔压电泵的输出性能提供理论和实验依据。结合理论解析、有限元和实验测试三种方法,对压电双晶片振子的静、动态特性进行了较为全面的分析。引用了合适的理论模型来描述压电双晶片振子的振动特性,并分析了支撑方式对压电振子变形量、谐振特性的影响;建立了压电双晶片振子的有限元模型,对其静、动态特性做了有限元分析;对压电双晶片振子的静、动态特性进行了实验测试,从而验证了理论解析和有限元的正确性,为压电振子的选优奠定基础。结合粘性流体动力学、压电学、振动学以及压电泵结构设计理论,通过理论解析和有限元相结合的方法,分析了结构参数对压电泵性能的影响。对单腔体有阀压电泵的内部流场进行了有限元仿真,得到了泵体内的流动特性,通过分析泵体内压力、流速分布,得出结构参数对流体损失的影响规律,并提出了压电泵结构的改进方案。通过大量的单因素实验,详细研究了压电泵的几种主要结构参数对其性能的影响,对获得的实验数据进行了分析和讨论,在此基础上对现有压电泵进行了改进,制作了压电泵样机,进行了相关的实验测试、分析,获得了一批有实际借鉴意义的数据。本文的工作对今后压电泵的研究和设计具有一定的参考价值。