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Na_(0.5)Y_(0.5)TiO_3(NYTO)是一种新型无铅铁电材料,目前该材料的研究还仅仅停留在NYTO多晶样品的制备研究阶段,因此,开展高质量外延NYTO薄膜的制备及物性研究具有重要的意义。本论文利用射频磁控溅射法制备NYTO外延薄膜,研究了NYTO薄膜的结构和物理性能。主要研究内容如下:选用LSCO和SRO作为底电极,采用射频磁控溅射法制备外延NYTO薄膜,构建Pt/NYTO/SRO和Pt/NYTO/LSCO三明治电容器结构,研究底电极材料对NYTO薄膜铁电、介电性能的影响。研究发现,生