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钙钛矿型氧化物(ABO3)以其低成本和高容量而具有巨大的潜在应用价值。但是,目前对ABO3氧化物作为储氢材料的研究仍然处于起步阶段,对ABO3氧化物储氢和电化学反应的研究仍存在许多关键而尚未解决的问题：在碱性水溶液中的储氢及电化学反应机理目前仍不明确,电化学催化活性较差,电化学容量贡献不明。金属Pd不仅在水溶液电解质中对氢的电化学析出具有优良的电催化活性,同时也具有良好的吸放氢性能。采用薄膜电极研究ABO3氧化物在碱性水溶液中的电化学行为具有电极比表面积大、电极几何尺寸和电极结构可控和薄膜表面改性便易等特点。本文提出采用射频磁控溅射装置分别在Si(111)和Ni衬底上制备LaMO3(M=Fe,Ni)薄膜,通过设计和优化LaMO3(M=Fe, Ni)薄膜的工艺参数,制备出结构、形貌、电阻率可控的LaMO3(M=Fe, Ni)薄膜。探讨了沉积时间、工作气压、退火温度和退火时间对LaMO3(M=Fe, Ni)薄膜相结构、形貌、成分和电阻率的影响。结果表明：沉积时间主要影响LaMO3(M=Fe, Ni)薄膜的厚度,在沉积2h后,薄膜沉积速率达到稳定(2nm/min)。Si衬底上的LaFeO3薄膜,在600℃开始晶化,最佳退火条件为800℃1h。Ni衬底上的LaFeO3薄膜,600℃开始晶化,最佳退火条件为600℃1h。Si衬底上沉积的LaNiO3薄膜,600℃开始晶化,最佳退火条件为700℃1h。采用射频磁控溅射装置在Si(111)上制备LaMO3(M=Fe, Ni)薄膜,之后在LaMO3(M=Fe, Ni)薄膜表面镀Pd制成LaMO3/Pd(M=Fe, Ni)复合薄膜,改善LaMO3(M=Fe, Ni)薄膜电极在碱性水溶液中的电化学活性。通过测试Pd膜电极、LaMO3(M=Fe, Ni)薄膜电极和LaMO3/Pd(M=Fe, Ni)复合薄膜在碱性水溶液中的首次充放电曲线和线性极化曲线,研究了Pd膜和退火处理对LaMO3(M=Fe,Ni)薄膜电极电化学行为的影响。结果表明,退火态LaMO3(M=Fe, Ni)薄膜电极的电化学容量很低(19-27mAh/g)。而退火态LaFeO3/Pd复合薄膜电极的充放电平台分别为-0.92V和-0.8V,电化学容量为180.7mAh/g。退火态LaFeO3薄膜电极和退火态LaFeO3/Pd复合薄膜电极的交换电流密度分别为I0=3.36mA/g和I0=590.51mA/g。退火态LaNiO3/Pd复合薄膜电极具有391.8mAh/g的电化学容量。充放电平台分别为-0.85V和-0.81V。退火态LaNiO3薄膜电极和退火态LaNiO3/Pd复合薄膜电极的交换电流密度分别为I0=3.17mA/g和I0=654.7mA/g。