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近年来，TiO_2薄膜的光催化性和超亲水性已成了光催化领域中研究的热点之一。本论文采用溶胶一凝胶法制备了TiO_2系薄膜，并对其性能进行了研究和分析。结果表明TiO_2薄膜的厚度、热处理温度和保温时间等因素均会影响薄膜的结晶情况，改变TiO_2薄膜的光催化性和超亲水性。 在掺杂的研究中发现，铈和镧的引入会提高TiO_2薄膜的光催化性和超亲水性，但当铈和镧的加入量超过某一数值时，反而会降低这两种性能，这是因为Ce和La本身不具有光催化性和亲水性，过量的铈和镧沉积在薄膜的表面，