【摘 要】
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本论文采用课题小组发明的无氟化学溶液沉积法(CSD)制备高性能YBCO超导薄膜。为了使CSD法更好地满足低成本连续生产的要求,本论文对低温分解热处理工艺进行了优化研究。本论文研究发现传统分解工艺有两个目的：一是除去薄膜中的溶剂,二是薄膜的分解。而且这两个过程都是在同一分解热处理工艺中进行的。本论文则分别对这两个过程的机理进行研究并优化其热处理工艺。本论文在除去溶剂阶段采用快速挥发工艺,即将涂敷后的
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本论文采用课题小组发明的无氟化学溶液沉积法(CSD)制备高性能YBCO超导薄膜。为了使CSD法更好地满足低成本连续生产的要求,本论文对低温分解热处理工艺进行了优化研究。本论文研究发现传统分解工艺有两个目的：一是除去薄膜中的溶剂,二是薄膜的分解。而且这两个过程都是在同一分解热处理工艺中进行的。本论文则分别对这两个过程的机理进行研究并优化其热处理工艺。本论文在除去溶剂阶段采用快速挥发工艺,即将涂敷后的薄膜直接置于略低于溶剂沸点的温度进行保温,缩短挥发时间。在薄膜的分解阶段,本论文首先采用
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