石墨烯基平面叉指电极性能优异,但是制备方法复杂,因此发展一种快速制备石墨烯基平面叉指电极的技术对于微型电容器的发展至关重要。本文通过激光直写图案化技术,在刚性和柔性基板表面制造了超疏水和超亲水的复合叉指图案,通过控制不同润湿性表面的结构变化来控制石墨烯油墨的叉指图案,自组装制备了一种平面微型电容器,并通过电化学工作站,测试了微器件的电化学性能。主要研究工作包括:针对氧化铝陶瓷刚性基板,利用红外纳秒激光进行表面刻蚀和利用硬脂酸溶液进行修饰等工艺,制备得到超疏水/超亲水复合表面,并通过涂覆水性石墨烯溶液和固态聚乙烯醇-硫酸凝胶电解质获得刚性的全固态平面微型电容器组件。测试结果表明,刚性基板的微型电容器的面积比电容在5m V s^-1的电压扫描速率下可以达到5.5 m F cm^-2,在4500次循环后具有良好的电容保持率～88.5%。针对聚酰亚胺柔性薄膜,通过皮秒激光一步刻蚀法获得超疏水和超亲水混合表面,通过涂覆水性石墨烯溶液和固态聚乙烯醇-硫酸凝胶电解质获得柔性的全固态微型电容器组件。测试的结果表明,柔性基板的微型电容器的面积比电容在5 m V s^-1的电压扫描速率下可以达到7.67 m F cm^-2,比刚性基板的微型电容器性能还有所改善。在5000次循环后的电容保持率为～90.1%,展现了比刚性基板上的微型电容器更优的循环稳定性。本文研究成果展示了激光快速制备具有超细叉指电极的平面微型电容器的优势,这种基于石墨烯的微型电容器可以用于微/纳米尺度电源,也可以用于集成许多小型化电子器件,在片上系统领域潜力巨大。