【摘 要】
：
该论文介绍了几种氮化物薄膜的低温合成和对氮化物薄膜的性质研究.低温合成制备优质的氮化物薄膜的关键是低温条件下化合物的形成和膜层的生长.在脉冲激光烧蚀（PLA）过程、脉冲
论文部分内容阅读
该论文介绍了几种氮化物薄膜的低温合成和对氮化物薄膜的性质研究.低温合成制备优质的氮化物薄膜的关键是低温条件下化合物的形成和膜层的生长.在脉冲激光烧蚀（PLA）过程、脉冲激光沉积（PLD）技术、电子回旋共振（ECR）微波放电和ECR等离子体特性研究的基础上,摸索发展了一种低温合成制备化合物薄膜的新方法-ECR等离子体辅助脉冲激光沉积（ECR-PLD）,并成功地应用于Ⅲ族氮化物AlN、GaN薄膜和碳基氮化物CN、BCN的合成制备.在低温（<80℃）条件下应用这种方法,分别以金属铝、多晶砷化镓（GaAs）、石墨、碳化硼（B<,4>C）靶为原材料,合成制备了AlN、GaN、CNx和BCN薄膜.制备得到的AlN薄膜的Al：N平均原子数比约为1：1,可见至近红外波段呈现80-95﹪的透射率,吸收边位于200nm处,能隙宽度为5.7eV;还研究了AlN薄膜脉冲光致发光及其时间演变,观察到光发射的非指数衰减现象以及氧杂质对发射谱的影响.GaN薄膜的Ga和N的平均原子比为46-54,在可见至近红外区域有较高的透射率,能隙宽度为3.4eV,还观察了GaN薄膜的低温光致发光谱,并发现制备时的衬底偏压对GaN薄膜的力学性质有较大的影响.对BCN薄膜的多种分析表征以及与BC薄膜的比较表明,BCN薄膜具有复杂的B-C-N杂化结构,而并非是B-C,C-N和B-N诸相的简单组合;BCN薄膜在绿光到红外波段有较高的透射率（80﹪）.
其他文献
该文的研究内容分为以下两方面：1.研究了Si（001）面偏[110]方向6°斜切衬底上Ge量子点的固相外延生长.实验结果表明,在Si（001）6°斜切衬底上固相外延生长Ge量子点的最佳退火温度为6
类金刚石碳(DLC)膜可以使用多种方法在不同的基底材料上沉积,它不但具有许多与金刚石相近的性质,如高硬度、耐磨损、表面光洁度高、高电阻率、高热导率及化学惰性等,而且金刚
该文提出了一种新的基于光子带隙结构的光延迟器,并对影响这种结构性能的各种参数进行了分析.1.对于具有单个缺陷的光子晶体进行了分析.当单个缺陷引入到周期性光子晶体中,由
这是第三天了。 这对夫妻已经等了三天了，还没能给孩子挂上一个专家门诊的号，只能到诊室门口碰碰运气。 候诊大厅熙熙攘攘，各种声音混杂在一起，仿佛被一个巨大的钟罩罩住，震得人耳嗡嗡作响。仅有的几排位置上，要么坐满了抱着孩子的家长，要么放着大大小小的包。 夫妻俩在诊室门口踌躇了一会儿。丈夫踮起脚，整个人趴在门上，透过门上的小窗子往里张望了几眼，然后回过头，对妻子叹了口气：“唉！做医生也不容易啊。”
该文采用三角势近似和实际异质结势,分别考虑电子气对施主杂质-电子间库仑势的屏蔽、声子和压强的影响,讨论半导体异质结中的杂质态.对GaAs/AlGaAs异质结,采用三角势近似异质
该文研究了时域有限差分法（FDTD）的并行实现方法,采用问题空间分割以及计算与数据传递交叠进行的数据并行的设计原则,充分利用现有的计算机资源,实现FDTD在网络互连的PC机群上
在该文中，我们研究了非对易空间的场论及其规范对称性，我们讨论了非对易空间与规范场耦合的物质场的规范对称性，然后利用Seiberg-Witten映射，我们研究了不同空间的规范对称性的等
该文工作围绕这一内容展开,对铌酸锂晶体中离子的掺杂种类和浓度、晶体所采用的后处理方式、实验耦合光束的波条件等影响光折变效应的主要因素进行了研究,并初步研究了铌酸锂
该文将在赝标介子情况下得到的结论推广到矢量介子产生,利用柏林组的计算方法,对单极化强子反应中矢量介子的左右不对称、其衰变对赝标介子左右不对称的影响及单极化强子反应
玻璃材料中二阶光学非线性的获得,可以将玻璃光波导器件由无源器件向有源器件扩充,使其在光通讯领域具有更为广阔的应用前景.但是,由于对玻璃材料二阶光学非线性的产生机理缺