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本文利用直流电沉积法制备Ni膜、Ag膜和Cr膜,并对制备薄膜的微观形貌、晶粒尺寸、显微硬度进行了分析,得出实验条件下各种薄膜的最佳制备工艺。同时,用改进的悬臂梁薄膜内应力测试装置测量了Fe基体上Ni膜、Cu基体上Ag膜、Ag基体上Cu膜和Ni膜的平均应力,与基于程氏电子理论(TFDC)和弹性力学理论导出的薄膜本征应力产生机制模型计算的薄膜应力进行对比,分析膜内应力的性质和起源,验证薄膜本征应力产生机制模型的正确性。研究结果表明:镀镍中添加剂对镀镍层的微观形貌、晶粒尺寸、织构及硬度均有影响。