物体表面三维形貌的光学精细检测技术研究

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该文提出在傅立叶变换轮廓术中的一种新型滤波器——非轴对称型滤波器,其适用于物体表面形貌在频域的分布具有非轴对称性的情形.合理的使用非轴对称型滤波器可使测量结果保留更多的高频细节.该文首次提出了两步相移法在傅立叶变换中的应用,通过存在相移的两幅图象运算能有效的去掉零频,从而在零频与基频混杂时也能完整的取出基频成分,同时也能扩大滤波器的带通宽度.首次开发了投影栅相位法的计算机仿真系统,在此平台上进行了相移法固定步进偏差的误差分析,发现其测量结果在频域中的光栅二倍频处现峰值.据此提出定值相移误差的频域检测方法,并通过滤波使误差得到抑制.
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