随着微尺度产品在越来越多领域的广泛应用,如何能够加工出具有小型化尺寸特征的零件成为近些年来科技研究的一个热点课题,其中就包括能够获得良好表面质量的微尺度磨削工艺。对于宏观领域,磨削工艺易产生大量热量并传入工件,容易导致工件表面的热损伤,导致工件的抗磨损性能降低从而降低零件的使用寿命和工作性能；在微尺度领域,由于微磨棒小,作业工件有限,温度测量一直是一个很难解决的问题。从加工过程来看,也不能简单的把宏观磨削机理按照比例缩放应用到微尺度磨削领域,从而也不能简单的把宏观磨削温度场情况应用到微尺度磨削,而研究微尺度磨削温度场及热损伤机理对于提高微尺度磨削的加工质量具有重要意义。本论文从理论、有限元仿真及实验等方法,对微尺度磨削温度进行研究,主要内容有：(1)磨削温度场的理论研究。分析磨削热的产生与传散机理,介绍傅里叶导热定律和热传导微分方程。对不同的热源分布理论进行比较分析,并分析微尺度磨削温度场模型。(2)微磨削温度场的有限元仿真研究。通过ABAQUS有限元分析软件建立单磨粒仿真磨削模型,分析磨削深度和主轴转速这两个加工参数对微磨削温度和微磨削力的影响,并且对微磨削温度场进行研究,得到一系列直观的温度场云纹图和温度曲线图。(3)测温系统的搭建。分析热电偶传感器的测温原理,搭建测温系统,并根据微尺度磨削特点,寻找到适合的测温方法。(4)微尺度磨削温度场的实验研究。通过实际实验测量,分析磨削深度、主轴转速和工件进给速度对微磨削温度和微磨削力的影响,并通过实验测量得出微尺度磨削温度场曲线,同时对实验结果与仿真结果进行分析对比。观测微磨削表面形貌,没有发现烧伤现象。