随着科学技术的不断发展,科技工作者对物质微观变化越来越感兴趣,由于超快电子衍射具有高达0.01nm的空间分辨率、可以实现飞秒(fs)量级时间分辨率等特点,因此超快电子衍射被越来越多地应用于科学实验中。作为探索物质结构和相变重要手段之一的超快电子衍射,是研究微晶、表面、薄膜等结构动力学过程以及生物反应等最有力的工具,所以近年来受到国内外很多科学家的关注,目前他们已经研制了各种超快电子衍射系统用于科学研究。本文的目的是研制一套具有较高时空分辨率的超快电子衍射系统,利用其可以同时提供较高时间和空间分辨率的特点,为尽早实现原子和分子高时间分辨的动态拍摄提供可能。首先,根据实验要求确定超快电子衍射系统的参数,确定超快电子衍射系统内光学系统:加速电压为50Kv,采用短磁聚焦实现对电子束的聚焦,偏转板采用平板加折板的方式,探测系统采用双MCP实现电子倍增。然后采用Monte-Carlo方法、边界元法、龙格-库塔公式等计算电场、磁场、电子轨迹等,从而得到超快电子衍射系统的设计参数。以设计结果为基础制作了构成超快电子衍射系统的各个零部件:光电阴极、磁聚焦线圈、静电偏转扫描系统、电子图像增强系统、真空系统以及电路控制系统,从而制作了一套可以实际使用的超快电子衍射系统。经过对系统的调试以及参数测试,,从测试结果可以得到如下结论:此超快电子衍射系统完全可以使用于科学实验当中。