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YBCO是第二代高温超导体，其性能优良，77K时具有高的临界电流密度和高的临界磁场，因此得到了许多研究者的关注。而近年来，以约瑟夫森结为基本元件已研制出微波和远红外波段的检测器、混频器和参量放大器等器件，且有噪声低、灵敏度高、响应速度快、频率覆盖宽等优点。本课题拟采用溶胶-凝胶法在LaAlO3基片上制备YBCO/STO/YBCO三层膜，为YBCO/STO/YBCO约瑟夫森结的制备奠定基础。制备过程中，首先在LaAlO3基片上制备了单层YBCO薄膜、STO/YBCO双层膜、YBCO/STO双层膜和YBCO/STO/YBCO三层膜结构，研究了STO缓冲层对YBCO薄膜结构的影响，并探究了三层膜的制备技术。 本实验首先通过X射线衍射仪、激光共聚焦扫描显微镜、物性仪研究了LAO基片上YBCO单层膜的晶体结构、表面形貌及超导电学性能，发现在LAO基片上能外延生长出c轴取向良好、超导性能良好的YBCO薄膜。其次，研究了LAO基片上双层膜的晶体结构、表面形貌及超导电学性能，通过XRD衍射仪测试，发现在LAO为基底的外延STO上，能够外延生长出取向良好的YBCO薄膜，通过超导性能测试，YBCO薄膜具有良好的超导性能。再次，研究了LAO基片上三层膜的晶体结构、表面形貌及超导电学性能，通过XRD衍射仪测试，发现在LAO为基底的YBCO上，能够外延生长出取向良好的STO薄膜。在以上研究基础上，制各出了取向良好的YBCO/STO/YBCO三层膜结构，研究了该三层结构在低温下的I-V曲线，该曲线表现出了约瑟夫森效应的特征。