CoFe基非晶合金表现出优异的力学、软磁及化学性能等,且环境友好,作为功能材料在工业应用方面具有巨大的潜力。但是,CoFe基非晶合金在室温下塑性变形能力较差,这极大地限制了其工程应用。近期,研究发现向CoFe基非晶合金中加入微量Cu元素可以显著改善其宏观塑性。因此,研究Cu元素对CoFe基非晶合金力学行为的影响及其潜在机理具有重要意义。近年来,不断有学者采用纳米压痕技术结合各种先进的结构检测手段对非晶合金的变形行为与微观结构进行研究分析,试图建立两者之间的关系。基于以上研究,本文选择[(Co0.7Fe0.3)0.68B0.219Si0.051Nb0.05]100-xCux（x=0,0.5）非晶合金作为研究对象,采用纳米压痕技术对其蠕变行为及内在的塑性变形机理进行了系统的研究。首先,对[(Co0.7Fe0.3)0.68B0.219Si0.051Nb0.05]100-xCux（x=0,0.5）非晶合金的纳米压痕蠕变行为进行研究。研究发现,添加微量Cu元素后非晶合金的蠕变位移量增加,蠕变应力指数降低。0.5 at.%Cu元素的加入可以明显降低(Co0.7Fe0.3)0.68B0.219Si0.051Nb0.05非晶合金的硬度以及材料的加载速率敏感性。结合原子力显微镜实验,发现Cu的添加使得压痕周围的堆积高度降低且堆积区域面积增加,这意味着样品处于一个更加均匀的塑性流变状态,即Cu的添加提高了CoFe基非晶合金的蠕变变形能力,使宏观塑性变形表现的更加均匀。其次,对[(Co0.7Fe0.3)0.68B0.219Si0.051Nb0.05]100-xCux（x=0,0.5）非晶合金微观尺度的结构和力学响应及其关联性进行分析。研究发现,Cu的添加增强了非晶基体的亚纳米到纳米级别的多尺度结构不均匀性,从而引起微米尺度的力学响应差异。微量Cu元素的加入促进CoFe基非晶合金中富Co（Fe）团簇析出,增加了结构不均匀性。这种短程有序结构有效的调节了非晶基体的局域弹性模量和硬度,形成连续的弱键合软区,使变形过程中自由体积的生成速率增加,进而提高了Cu掺杂CoFe基非晶合金的塑性变形能力。最后,利用Maxwell-Kelvin模型对[(Co0.7Fe0.3)0.68B0.219Si0.051Nb0.05]100-xCux（x=0,0.5）非晶合金的蠕变行为进行分析。研究发现,Cu元素的微量掺杂促使非晶基体中的内在缺陷在变形过程中激活。在准静态加载模式下,含0.5 at.%Cu的非晶合金特征弛豫时间缩短。这表明Cu的添加导致非晶基体中的缺陷尺寸缩小且易于被激活。随着加载速率的进一步增加,在[(Co0.7Fe0.3)0.68B0.219Si0.051Nb0.05]99.5Cu0.5非晶合金的硬区和软区中均出现更多尺寸较大的流变缺陷。这有利于非晶合金在变形过程中产生多重剪切带,促进裂纹尖端能量耗散。本工作对掺杂微量Cu元素的CoFe基非晶合金体系的蠕变行为及变形过程中微观结构的演变方式进行了系统的分析,为研究非晶合金的微合金化效应提供新的思路,并且为设计其他具有大塑性变形能力的商用非晶合金或非晶复合材料提供一定的指导。