近年来,随着化学合成技术以及微加工技术的不断提高,小尺度的全光集成光学器件发展非常迅速。在全光集成光学器件中,控制光束转向的器件是一个重要的组成部分。本文着重研究了基于亚波长共振的光束转向器的设计和性能分析。结合仿真分析,我们得出了光束转向器的透射和反射曲线随着入射光的角度和波长变化情况。进而讨论该结构应用于全光集成光学器件的可行性。主要内容如下：1)分析了均匀半径的硅纳米棒阵列对斜入射高斯光束负方向出射现象的原因。理论解释了这个机制是由于介质纳米棒截面的对称共振模式引起的。这个现象有望应用于集成光路中作为光束转向的器件。2)仿真设计了两种半径的硅纳米棒周期阵列结构,使得该结构对特定波长的斜入射高斯光束的出射方向的调制作用比已有的结构效率明显提高。在入射光的波长为1550nm附近80nm的范围内,在负方向出射的光束的能量可以占总能量95%以上。特别是在波长在1550nm附近入射角范围在30°到60°之内,效率可以接近100%。这个结构用于全光集成器件中可以有效减少由于光弯曲传输造成的损耗。本文的主要创新点有：1)提出了大小不同两种半径的硅纳米棒组成的阵列会比单种半径硅纳米棒组成的阵列对光束偏转的效率高。2)通过仿真计算证明了基于二维所设计的光束转向器在三维的情况下也可以达到预计的效果。