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随着激光技术的日益发展,人们已经成功的将激光脉宽从ns量级缩短到了fs量级,同时随着激光脉冲峰值功率的不断提高,激光与光学系统的相互作用研究进入了全新的领域。光学薄膜几乎是光学系统中不可或缺的元件,同时也是整个系统中最薄弱的环节,因而光学薄膜的激光损伤问题一直是激光向高能量、高功率方向发展的瓶颈。所以,研究光学薄膜的抗激光破坏问题具有非常重要的意义和实用价值。脉冲激光对光学薄膜损伤是一个复杂的过程,常常伴随几种损伤机制的出现。本文主要探讨短脉冲激光以及飞秒脉冲激光对薄膜的损伤问题。首先从短