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单片微波集成电路具有体积小、质量轻,稳定性高,可批量生产等特点,在微波毫米波领域已得到越来越广泛的应用,特别是军事国防方面,具有重大的战略意义。随着科学技术的飞速发展,无论从军事上还是在民用上都离不开现代无线通信系统,射频通信系统作为其中必不可少的一部分,其中的部件性能优异程度变得尤为重要。相比于传统的幅相调制系统,矢量调制器作为一种可直接对载波进行幅度及相位调制的新型电路,特别是在微波毫米波频段,具有极大的优势并发挥着越来越重要的作用。 本文基于WIN工艺厂商所提供的0.15μm GaAs pHEMT工艺,集成功分器、耦合器及有源器件pHEMT,在Ka波段进行了单片矢量调制器研究设计。设计主要针对毫米波相控阵等小型化系统,实际研制的MMIC矢量调制芯片首次在一块极小的MMIC芯片上集成四路反射式矢量调制电路,具有单输入多输出功能,高集成度,高性能等特点,所研制的芯片经流片后进行测试评估,测试结果基本达到预期目标要求,表明该研究切实可行并提出了相应改进方案。 另一方面,通过相控阵天线产生得到携有不同模式轨道角动量的涡旋电磁波不仅具有高效的频谱利用率,而且在抗干扰能力上性能突出。特别是在毫米波波段,利用矢量调制器对馈源幅相特性进行调制,从而获得不同模式的涡旋电磁波,对未来小型化设备装置提出了新颖的设计思路。