生物微粒的分离与操控技术在生物制药,疾病预防,临床医疗,环境监测等领域有着非常重要的用途。介电电泳技术作为一种微观粒子操控方法,因有着非倾入性和无需标记的优点在近二十年里被广泛的研究。然而,介电电泳技术也存在着一些弊端亟待解决,主要是在针对多种不同的微观粒子分离时候需要设计不同结构的电极,使得介电电泳芯片的制作过程复杂。为了能够解决介电电泳技术在应用中的这一不足,本文在研究中提出了柔性可拉伸介电电泳这一概念,旨在通过机械拉伸作用来改变电极的结构外形以满足不同的操控条件,使得介电电泳操控技术能够得到更加普适性的应用。柔性可拉伸介电电泳技术即通过微机械加工的方法,在特定的溅射条件下于柔性基底材料PDMS上溅射Ti/Au金属膜电极,使电极能够在外力拉伸过程中结构改变的情况下仍然具有良好的拉伸性能(同轴拉伸应变高达120%)和电学导通性能(在同轴拉伸应变为100%时候的电学阻抗为40k?,电极长宽高尺寸分别为15mm/2mm/50nm)。电极的结构改变能够满足在不同的条件下的介电电泳颗粒操控条件,从而实现对不同物理特性(大小,外形,介电常数,电导率)的微粒的操控。本文首先从介电电泳的基本原理入手,介绍了介电电泳力的计算过程,柔性可拉伸介电电泳技术中的柔性电极和可拉伸微裂纹电极基础。其次介绍了实验中柔性可拉伸介电电泳芯片加工的工艺过程,利用COMSOL Multiphysics软件对可拉伸介电电泳芯片在拉伸过程中的电场变化做了数值模拟,并对多物理场中的微观粒子的受力情况做出分析,最后介绍了在柔性可拉伸介电电泳芯片上的聚苯乙烯颗粒、二氧化硅颗粒以及Jurkat细胞的分离技术和输送技术,并讨论柔性可拉伸介电电泳芯片电极拉伸率的变化对介电电泳分离效率的影响。在本文最后,总结了柔性可拉伸介电电泳技术中存在的问题,并对其在以后的应用方向上做出了展望,希望柔性可拉伸介电电泳技术能够应用在我们切身生活中。