【摘 要】
：
本文在综述硅基SiO薄膜研究进展、表征方法、研究方法的基础上，着重研究射频溅射法制备硅基SiO薄膜的工艺，发展该类薄膜制备的新技术，同时对薄膜进行特性分析与研究，得出有关结论
论文部分内容阅读
本文在综述硅基SiO<,2>薄膜研究进展、表征方法、研究方法的基础上，着重研究射频溅射法制备硅基SiO<,2>薄膜的工艺，发展该类薄膜制备的新技术，同时对薄膜进行特性分析与研究，得出有关结论并提出一些改进方法。
采用射频溅射法在Si基上淀积SiO<,2>薄膜，然后在空气气氛中在不同的实验条件下高温处理后，制得了膜厚为618A均匀致密的无定形SiO<,2>薄膜。最后利用原子力显微镜(AFM)、X射线粉末衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和台阶仪等仪器对SiO<,2>膜的形貌、结构、成份及化学配比进行了测试分析。
通过本论文的研究，用射频溅射法在硅片上制备优质SiO<,2>薄膜，仍需在工艺控制包括淀积条件、退火方式的选择等方面作进一步的研究与改进。
其他文献
本文主要在近场探测热透镜光谱分析法(Thermallensspectroscopy，简称TLS)的新方法发展及其应用方面开展了如下一些工作： 1.利用菲涅尔衍射理论建立了横向双光束调制近场探测
本文研究了有限差分法应用于双原子分子振动和振动．转动能级以及Frank-Condon因子的量子力学计算的方法。我们采用了Morse势为模型势，用有限差分法计算出了双原子分子Li的纯振
光纤激光器具有高增益、小体积、结构紧凑、全固化特性等特点，应用越来越广泛，随着光纤激光器输出功率的逐步提高，对大功率光纤激光器的要求也越来越高，实现更大能量的激光输出成
解剖学基础是中职护理专业的一项重要课程,是护理专业学生必修的学科,对学生的以后的学习和发展具有很大影响,本文探讨PBL与传统教学模式结合在中职解剖学基础中应用,希望对
在光谱分析中，人们一直假定光在自由空间传播过程中，其归一化光谱是保持不变的。在许多情况下，这个被称为光传输光谱不变性的假定被实验证明是正确的。然而，1986年Wolf教授证实，只
NaYF4作为上转换发光材料中重要的材料，具有独特且优异的光电特性以及很好的生物相容性，在太阳能电池、三维立体显像、生物监测等方面具有广阔的应用前景。将其制成薄膜可大大