基于PVDF测头的三维纳米测量与定位实验研究

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纳米技术的不断发展,对精密测量与定位技术提出了更高的要求,因此纳米测量和定位技术成为当前精密工程领域的研究热点之一。文中提出了一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜构成的轻敲型振动梁式测头,同时对三维表面形貌测量及微/纳米级三维触发定位进行了相关实验研究。文中阐述了一种采用PVDF薄膜作为振动梁的新型测头的构成原理,根据测头输出信号的特点,设计了信号放大及调理电路,对原系统电路部分进行了改进。通过DDS函数信号发生器提供正弦交流信号驱动测头振动,采集卡采集测头输出信号,得到测头的频谱图。在测头上
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