【摘 要】
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大口径反射镜组件是实现ICF固体激光器打靶功能的关键性组件,它的主要作用是完成激光束的引导、传输和准直精度的调整。精密调整和结构稳定性控制是大口径反射镜设计中需要解
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大口径反射镜组件是实现ICF固体激光器打靶功能的关键性组件,它的主要作用是完成激光束的引导、传输和准直精度的调整。精密调整和结构稳定性控制是大口径反射镜设计中需要解决的两个关键技术问题,其直接决定最终的打靶质量和打靶精度。因此,开展大口径反射镜组件精密调整和结构稳定性控制研究,对提高装置打靶质量和打靶效率具有十分重要的意义。本文主要从大口径反射镜组件整体结构设计、柔性铰链柔度和误差分析以及组件的结构稳定性等方面展开研究。提出基于有限元法和最小二乘法对反射镜的面形PV值和RMS值进行评价。分析得出镜片转角变化对最终打靶精度有很大影响。提出了以反射镜镜片四角节点法向位移来计算镜片转角变化的方法,为本文的分析计算提供了理论依据。对镜片的轴向固定、径向固定和背部固定这三种固定方式分别用Ansys和Matlab仿真计算出PV值和RMS值,通过综合分析最终采用径向固定方式。设计了以伺服电机驱动的微位移驱动装置来实现反射镜镜片的精密调整,计算得出俯仰和偏摆的转角分辨率,均达到了设计所要求的指标,并实验验证了其可行性,分析了镜片的调整原理。提出了基于倒圆角三角型柔性铰链结构的串联两轴柔性铰链的支撑方式,运用Matlab分析得出半径、深度和最小厚度与其转动柔度、回转精度的变化关系,为铰链的设计提供设计依据。基于伪刚体模型法得到串联两轴柔性铰链的转动柔度与倒圆角三角型柔性铰链转动柔度的关系,分析得出最小厚度是柔性铰链柔度误差的主要来源,为加工提供了理论依据。运用Ansys Workbench有限元分析软件对大口径反射镜组件进行了静力学分析、模态分析、随机振动分析和热载荷分析,分析结果表明反射镜各项指标均满足要求,验证了所设计的大口径反射镜组件的结构稳定性。
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