在极紫外光刻技术中,由于多层反射膜只能对极紫外光源在一个很窄的范围内进行收集,所以为了能够更有效的发挥激光等离子体(LPP)光源的优势,需要激光等离子体光源辐射出的极紫外光源在特定的波长范围内带宽越窄越好。Gd等离子体极紫外光源已经被证实能够高效辐射6.8nm波段的极紫外光源,并且对其带内0.6%进行收集的La/B4C多层反射膜被成功地制备,使得Gd等离子体极紫外光刻光源成为极紫外光刻技术中的新宠。在此之前的研究成果中通过Nd:YAG激光器获得Gd等离子体极紫外光谱的谱线宽度都较宽。本论文首次通过Nd:YAG激光结合与双脉冲法,成功减少Nd:YAG激光等离子体的自吸收效应从而获得谱线宽度非常窄的极紫外光谱,当辐射强度为4×1011 W/cm2,脉宽为10 ns的1064纳秒激光在50ns时间延时,辐照并加热预脉冲形成的预等离子体从而获得最佳最窄的极紫外光谱,谱线宽度约为0.3nm。双脉冲条件下的最佳极紫外光谱0.3nm带宽是仅有主脉冲照射条件下极紫外光谱宽度的1/5。同时,本文对不同主-预脉冲条件下的6.8nm和7.2nm的这两条谱线强度随时间变化的规律进行了讨论。另一方面,实验发现当主脉冲激光强度增加或减小的时候,得到的极紫外光谱的谱线宽度均会变宽并且其宽度均向着长波长方向移动。进一步,我们将实验条件下获得的极紫外光谱与其他单位的类似实验条件下获得的极紫外光谱进行了对比研究。最后,论文对主-预脉冲条件下,Gd靶激光等离子体光源的碎屑产生进行了研究,发现在50ns延时条件下,可有效地抑制光源离子碎屑的产生量。