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由于金刚石膜具有极高的硬度、低的摩擦系数、优良耐腐蚀性能、高的导热率、优良的半导体性能而广泛应用于机械、电子、光学等领域，但金刚石膜的高效抛光是一个亟需解决的难题。在本课题组已有的研究基础上，本论文首次对石墨电极对金刚石抛光的工艺和机理进行了研究；还对金刚石膜机械抛光和化学抛光的工艺和机理进行了深入研究。 本文首先使用DSP控制的高精度微型工作台进行石墨电极电火花抛光金刚石膜的研究。结果表明，金刚石膜Ra值在两分钟内降低了2.94μm。提出了石墨电极抛光金刚石膜的机理，主