空心气冷叶片可以有效提升航空涡轮发动机的工作温度,但是叶片内腔发生的高温氧化和热腐蚀是限制航空发动机使用寿命的主要因素。使用化学气相沉积(CVD)法在空心叶片内腔表面涂覆铝化物涂层可以有效提升其使用寿命。相对于单一铝化物涂层,改性铝化物涂层拥有更强的抗高温氧化以及抗热腐蚀能力,因此其制备工艺是目前研究的重点。本课题通过对反应过程中热力学以及动力学过程进行分析计算,研究了CVD法钇改性铝化物涂层的共沉积工艺,并通过试验对工艺的设计进行验证。最终的试验结果表明,使用950℃的反应温度、400mbar的反应压强以及摩尔比为8:2的铝钇渗剂配比可以成功的在Inconel 718镍基高温合金表面制备稀土钇改性铝化物涂层。随后本文采用多种检测手段对涂层的组织成分以及钇的作用进行了分析和研究,结果表明:钇可以促进铝和镍的扩散,提升涂层中铝的含量,并降低涂层的显微硬度。随着反应时间的延长,涂层中铝和钇的含量会有所提升,涂层的组织结构则由单一β-Ni Al相向β-Ni Al和Ni5Al3的混合相转变。本课题同时还进行了1100℃下60小时的高温氧化试验,结果表明相对于单一铝化物涂层,钇改性铝化物涂层的抗高温氧化能力有着明显的提高。涂层的抗高温氧化性能随着钇含量的增加而提升。