双面大面积BDD电极制备CVD设备的关键技术研究

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【摘要】

：

掺硼金刚石（BDD）涂层电极具有优异的电学和电化学性能，在有机物污水处理方面有广阔的应用前景。BDD涂层电极工业化应用首先要解决BDD涂层电极大面积、高效制备问题，但目前国内BDD电极大面积制备设备还处于空白。本文旨在研制一套可以连续制备双面大面积BDD涂层电极的化学气相沉积（CVD）设备，为大面积BDD涂层电极的高效生产提供技术支撑。本文主要工作和成果包括：1.通过大面积BDD涂层电极的沉积试验

【作者】

：

孙达飞

【机构】

：

南京航空航天大学

【发表日期】

：

2013年01期

【关键词】

：

BDD涂层电极 CVD设备大面积均匀性结构设计

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