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集成光波导在光纤通信和集成光子学等领域有着非常重要的应用价值,基于集成光波导的延迟技术相比其他的延迟技术,不仅有高延时精度、低传输损耗、小体积等优点还易于集成,所以被广泛研究,成为目前最发展潜力的光延迟技术平台。随着光波导加工工艺技术的不断改善,在新材料、新工艺方面又有重大突破,各种集成光波导器件的应用愈加广泛,然而设计并加工出弯曲半径小、损耗小的光波导仍然十分困难。本文致力于设计出一种传输损耗小、弯曲半径小的集成光波导延迟线。为基于集成光波导延迟线的技术和集成光学的实现方案设计提供了一种可供参考的设计方法。本文首先分析了集成光波导延迟线的工作原理。采用有限差分光束传输法(FD-BPM),利用Rsoft和Matlab软件建立了折射率差为0.36%、0.75%和1%的掩埋型2SiO波导、3 4Si N脊形波导及SOI脊形波导的3D仿真模型,分析了波导折射率对掩埋型2SiO的在传输损耗为0.1 dB/cm时最小弯曲半径的影响及三种不同材料弯曲半径对其弯曲损耗的影响,此外还分析了平行同向传输的掩埋型2SiO波导和SOI脊形波导间隔对耦合长度的影响。然后在以上基础上设计了一个基于折射率差为0.36%掩埋型2SiO波导的集成光波导延迟线方案,其器件尺寸为6?m?6?m,通道之间的间隔为127?m,延迟时间为12.5 ps,弯曲半径为22500?m。最后通过光刻、耦合和封装等加工得到了1分8平面光波导延迟线的成品,实验测试其插入损耗在9.01~10.87 dB之间,这与理论值吻合。最后在输入波长为1550 nm时分别测得在0℃~50℃下光波导延迟线的插入损耗,还测试1平面集成光波导延迟线器件在1528 nm~1598 nm的波长下的插入损耗,发现光波导延迟线的插入损耗与温度与波长都无关,说明该延迟线稳定性较强。