碳纳米管薄膜阴极电泳电镀法制备及场发射性能研究

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碳纳米管(CNT)拥有独特的机械、化学和电子方面特性,使得它在不同的领域呈现出广泛的应用,特别在平板显示领域。所以,探索碳纳米管场发射性能是一项非常重要的课题。采用设备简单的电泳和电镀法,制作了场发射性能优异、成本低的镀覆银结晶颗粒碳纳米管薄膜阴极,研究了电泳对碳纳米管薄膜阴极的场发射性能影响和电镀镀覆银结晶颗粒对薄膜阴极场发射性能的影响,取得了一定研究结果,主要包括以下几个方面:1.选择氧化铟锡玻璃的透明ITO膜为电泳和电镀的导电电极,采用光刻和湿法刻蚀技术制备了平栅极结构图形化的导电极。匀胶机设置为前转3000r/min,时间3s和后转5000r/min,时间30s制备了厚度为1149nm均匀胶膜;光刻胶曝光3s和显影10s后得到了图形清晰的光刻胶图案;在35℃温度下刻蚀310s制备了平栅极结构图形的导电极。2.利用电泳法在图形化的阴极ITO玻璃表面上沉积了碳纳米管薄膜,详细了研究了不同电泳工艺参数对碳纳米管薄膜的表面形貌及场发射性能的影响,当电泳液中碳纳米管浓度为0.1g/L和硝酸铝浓度0.066g/L时,在电压为100v时电泳60s得到了最优的碳纳米管薄膜,其表面形貌及场发射性能最佳。3.为了改善电泳法制备的碳纳米管与ITO表面之间电化学接触,提高碳纳米管薄膜的场发射性能,采用电镀法在碳纳米管薄膜表面镀覆银结晶颗粒。退火后,银结晶颗粒熔接了碳纳米管与ITO薄膜表面,利用纳米银优异的导电性有效改善了碳纳米管与ITO薄膜表面的接触,消除了碳纳米管与ITO薄膜表面之间的界面势垒,有效的改善了阴极场发射性能。4.系统研究了电镀与未电镀银结晶颗粒对阴极场发射性能的影响,镀覆银结晶颗粒的阴极的开启电压降低,场发射电流密度增大。深入研究了退火对样品阴极场发射性能影响,实验结果表明退火能够进一步改善碳纳米管与基片表面电化学接触,有效降低了接触电阻,改善了场发射性能。5.系统研究了平栅极结构的栅极对阴极场发射性能影响,实验结果表明,栅极对场发射阴极的发射电流起到明显的调制作用,平栅极三极管结构的开启电场和电流密度优于二极管结构。
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