本文以醋酸铜、硝酸铝为出发原料，异丙醇为溶剂、丙烯酸为添加剂，醋酸镁为掺杂源，采用溶胶凝胶法在石英玻璃基片上制备了CuAlO2和CuAl1-xMgxO2透明导电薄膜。研究了不同热处理气氛、不同Al含量和不同Mg掺杂量对薄膜物相结构和光电性能的影响。所得的结论如下:　　1.使用溶胶凝胶法在不同的热处理气氛下制备出了Cu-Al-O薄膜，用XRD、分光光度计、SEM等对样品进行分析表征。结果表明:根据Cu-Al-O物质相演变的过程，先通O2后通N2是较为适合CuAlO2薄膜生长的热处理气氛，此工艺下制备出的CuAlO2透明导电薄膜，其电阻率可达到605Ω·cm，可见光透过率为40％。　　2.使用溶胶凝胶法制备出了不同Al含量的Cu-Al-O薄膜，用XRD、分光光度计、AFM等对样品进行分析表征。结果表明:当Al含量较少时，所制备的薄膜中出现Cu2O杂相，影响了薄膜的光电性能，随着Al含量的增加，薄膜中的Cu、Al化学计量比逐渐趋于1∶1，薄膜光电性能提高。当Cu/Al=1∶1.2时薄膜的电阻率最低，为120Ω·cm。当Al含量过多时，薄膜中出现了非晶态的Al2O3，薄膜的电学性能下降。　　3.为了提高薄膜的电学性能，制备了Mg掺杂的CuAlO2薄膜，研究了Mg掺杂量对薄膜性能的影响。结果表明:当Mg掺杂量x=0.08时，薄膜具有最佳的电学性能，薄膜的电阻率可以达到65Ω·cm，其载流子浓度比未掺杂的薄膜提高近2个数量级;薄膜的可见光透过率可以达到40％。