论文部分内容阅读
SnO_2类TCO薄膜,是较早投入商业用途的透明导电氧化物薄膜材料,常用来做Low-E玻璃及显示器件、薄膜太阳能电池中的前电极。对此类薄膜材料的物理化学性能,特别是薄膜的硬度的了解,是薄膜应用及其性能维护的前提条件。进而才能正确有效的选择适合的薄膜隔垫及防腐材料。本论文是以得到薄膜的硬度为目标,从材料设计的角度出发,采用第一性原理的密度泛函理论对SnO_2及SnO_2:Sb模型的内聚能,键长和布局数进行计算,最终得到此类材料的理论硬度;采用了原位纳米测试系统和维氏显微硬度计测试了薄膜的膜基复合硬度,