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原子钟利用本地振荡器去锁定原子超精细能级,从而得到准确性和稳定度非常高的频率基准。世界上第一台原子钟由美国NIST在1949年利用氨分子建造而成。传统的原子钟由于体积、重量和功耗较大，不适合应用于便携式仪器装备中。而另一方面，无线通讯、大地探测、电力网络、军事国防系统等需要精确的时钟信息，对低功耗微型原子钟的发展提出了要求。相对于传统技术，原子钟体积的缩小较为困难。这主要体现在传统型原子钟有微波谐振腔，腔体的大小与微波谐振波长有关，限制了原子钟向小型化发展。而CPT技术的提出和采用MEMS工艺制备原