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扩散真空泵抽速的测试原理、装置和操作方法在国家标准中GB/T19955有详细、严格的说明。标准中叙述的测试流程,是基于测试人员手动操作基础之上,以至于国内现在还没有可以实现对扩散泵性能进行自动测试的系统。本文开发了一套实验室使用的扩散真空泵抽速自动测试系统,可以自动测试扩散泵的极限压力和抽速曲线。区别于手动操作的关键技术是：成功实现利用自主开发的高精度光纤液位传感器获得滴管内的液位高度,代替肉眼读数；尝试使用步进电机驱动针阀实现气体流量和测试罩内压力的自动调节,取代人工调节。该系统在