化学气相热解合成碳纳米管阵列薄膜

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本文研究了两种工艺制度合成碳纳米管阵列薄膜的过程,第一种方式是通过分布在多晶Al_2O_3和石英衬底上的金属铁盐,高温催化裂解C_2H_4制备碳管薄膜;另一种方式是以二茂铁为催化剂,各种不同有机碳氢化合物为碳源,采用液相注入方法,在高温气相化学热解制备碳管阵列。以二甲苯为碳源,通过优化合成温度、催化剂浓度和载气流量等反应条件,在H_2或Ar/H_2气氛中,能够在石英衬底上制备出高度为150μm的多壁碳纳米管(MWNTs)阵列。实验采用双注射法取代单注射等其它方法,不仅工艺简单,而且还可以避免使用了有
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