真空技术是现代科学技术的一个重要组成部分,它推动并促进了科技研究和生产技术的发展,而真空测量是真空技术的一个重要环节。作为真空度测量设备的真空计类型很多,由于各种真空测量方法的局限性,其灵敏度、量程和用途各不相同。在电子技术和计算机技术的迅速发展推动下,真空计的设计与研发正朝着高精度、小型化、集成化、系统化、智能化方向迈进。热偶真空计以其性能稳定、抗沾污、抗氧化、价格适中等优点被广泛应用于低真空测量领域,但由于热偶规这种传感器存在着较强的非线性,致使在数据处理上存在一系列的问题。为了提高测量精度,必须对其非线性进行处理。用传统数值计算方法处理,计算量繁重、过程冗杂。本文对热偶规真空计的基本结构和工作原理加以研究分析,然后根据其特点提出具体的设计方案。本设计采用Mathematica数学软件中高次函数拟合功能,来拟合热偶规传感器的非线性特性,最后以热偶规管作为传感器,将被测环境的压强信号转换为微弱的电信号,经过信号放大和A/D转换,送入单片机数据处理、显示。本热偶规真空计以单片机为核心,可应用于低真空领域的真空度测量,其测量精度和稳定性满足实际需要,还可以根据实际应用将仪器的功能进行扩展,具有较强的实用性。