论文部分内容阅读
钙钛矿相铁电薄膜不仅具有显著的铁电和电光特性，还因其介电常数高而备受重视。近年来，这类材料被引入到超晶格和光子晶体的研究中。引入介电常数比常规材料大得多、具有自发极化且自发极化可随温度和外电场变化、具有非线性光学特性的铁电薄膜作为超晶格的组成部分，使得在超晶格／光子晶体的研究中产生了一些新的变化因素。本文的主要工作是采用磁控溅射工艺在Si基上制备了[PZT／LNO]~n／Si多层薄膜，测试多层膜的表面形貌、结晶取向、铁电性能及反射光谱。研究多层膜特性随周期数增加而