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本研究致力于对厚度为150nm的薄膜材料在力载荷与热载荷下的机械性能测试和表征研究。近些年来,随着膜层材料的广泛应用,国外学者对于沉积膜层脱层及屈曲问题日益关注,主要是因为脱层与屈曲是微纳米机电系统器件的主要破坏形式,这一研究对于其寿命预测具有重要意义。在微纳米机电系统中,基底薄膜模型系统应用越来越多。而在薄膜基底模型系统应用中,模型除了会受到一定的外部力载荷外,通常此系统会产生热量,从而使得此二元系统同时受到热载荷的作用。本文主要研究和分析讨论沉积在有机玻璃基底上的钛薄膜,在残