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恒温控制系统和真空控制系统是控制领域研究的热点之一,特别是随着电子技术和计算机技术的发展,对应用控制的精度要求越来越高,因此对其所在环境的温度或真空度的要求也越来越严格。本论文中设计的真空恒温控制系统为波谱能谱复合型X荧光光谱仪内的一个重要模块,为该仪器正常工作提供性能稳定的工作环境。该模块控制精度高、稳定性好、方便操作,不仅可以应用在此仪器内,也可以应用于其它需要恒温真空调节的小环境场合,应用前景十分广阔。本课题是国家重大科学仪器设备开发专项《波谱-能谱复合型X射线荧光光谱仪的研发与产业化