当代是一个信息化高度发展的时代。半导体由于其独特的优势被广泛的应用于计算机、航空航天、生物技术、电子产品乃至家用电器等社会的各个方面。随着这些产业的发展，提高砂轮划片机的精度成为了发展的必然。　　本课题来源于沈阳仪表科学院，根据所提供砂轮划片机ZSH506，测绘并搭建了砂轮划片机的平台，目的是了解砂轮划片机的结构和为后期的分析工作做准备。首先通过文献的查阅、现场的调研和整理砂轮划片机的故障史，分析出影响砂轮划片机精度的主要因素。然后，分别以影响砂轮划片机精度的主要因素导轨磨损和悬臂主轴系统作为研究的对象展开了研究。利用Archard磨损理论，推导出了导轨的磨损表达式，再应用矩阵转换的理论将导轨的磨损转换到被加工件的中心，得到最终的误差。随后建立了考虑螺纹和带有间隙的螺栓连接有限元模型，并且考虑了螺栓预紧力和切削力等外载荷，利用了软材料解决了带有间隙的螺栓连接的不收敛问题;利用建立的有限元模型探究了螺栓预紧力对气浮主轴精度的影响，得到了气浮主轴轴线上的位移随螺栓预紧力的变化曲线。此外，本文在之前研究的基础上，提出了提高砂轮划片机精度的建议;并设计了一种定位机构，适用于固定安装后再进行调整的主轴座，并能保持主轴座调整后的精度不变。　　本课题完成了导轨磨损和砂轮划片机气浮主轴系统的分析，在分析的基础上对砂轮划片机提出了几点改进建议，为进一步提高砂轮划片机精度和其它划片设备的研究打下了坚实的基础。