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随着微纳米器件的广泛应用,关于微纳米检测技术的研究不断深入。基于光学原理的非接触式测量,具有无损、快速、高精度的优点,是微纳米器件三维形貌测量的主要方法。其中,白光光谱干涉技术仅需单帧图像,就能快速获取样品形貌信息,在在线检测的应用中具有良好前景。因此,本文开发了一套基于Michelson结构的线型白光光谱显微干涉系统,分析了相位提取和绝对距离求解的算法,提出了逐行光谱标定的方法减小畸变对测量的影响,并将系统应用于台阶高度和薄膜厚度的测量。本文的主要工作如下:1.开发了一套基于Michelson结构