电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）不仅在元素的痕量和超痕量分析上应用广泛，而且在同位素比值和形态分析方面也发挥着重要作用。本文主要对ICP-MS中的关键部件碰撞反应池和离子透镜系统进行了研究。为了解决ICP-MS测量过程中多原子离子干扰问题，对碰撞反应池技术进行了研究。研究了碰撞反应去除多原子离子干扰的机理，并对影响碰撞反应池效率的主要因素进行了分析和总结。根据多极杆理论，建立了多极杆结构碰撞反应池的对比评价标准，通过Simion8.1研究离子在低真空和高真空状态下的运动特性，对四极杆、六极杆和八极杆的综合能进行了对比评价。同时，通过软件模拟，验证了碰撞聚焦效应，动能歧视效应等，研究了轴向电压，气体流量等影响碰撞反应池效率的因素。为了提高ICP-MS的灵敏度，降低背景噪声，部件清洗维护方便，设计研制了90度离子偏转系统。通过对四极杆静电场理论的研究，电场对离子运动的影响，在四极杆结构的基础上设计了壳体，前提取入射透镜，后出射透镜等，最终完成整个部件的研制。通过Simion8.1对研制结构离子传输效率的模拟，对研制部件电压值进行了选择，并在实验平台上通过实验对电压参数进一步优化。目前试制部件性能指标已超过当前主流常规商用仪器检测使用指标。