半导体设备是构造复杂、价格昂贵的集成系统。随着中国制造2025（工业4.0）的到来，工业生产社会化、智能化将越来越普及和广泛，生产设备是否得到科学的维护将成为制约企业发展的重要因素。自工业革命以来，设备的维护的理念便随之诞生，但过去那种计划维护或事后维护的策略已经完全不能满足当今工业生产的需要。现代制造企业中，生产设备的集成化程度越来越高，并且在产品功能设计、技术要求以及设备可靠性上提出了更高的要求，因此针对设备维护不论是从维护方法上还是从维护策略上都提出了新的挑战，有关设备维护的研究成为了近些年各国家和工业生产企业关注和研究的重点。生产线设备中维护策略的选择、维护时间点的确定、有限时间段内的总花费等因素都是维护管理中需要考虑的重要因素，本文在前人研究的基础了提出了多部件串联系统的视情维护模型，指出了运用多种维护策略相结合的生产线组合优化方法，模型结果显示该方法可以明显优化整体的维护费用，并且在分析设备衰退情况，优化相关参数和策略抉择上表现出很好的操作性。　　首先，本文介绍了研究背景及意义，综述了国内外研究人员最新研究成果的基础上，详细介绍了有关设备维护的相关理论以及论文的整体框架。　　其次，阐述了有关设备维护的概念和理论，并详细的介绍了目前主流的几种维护策略，从各种维护决策的适用场景，优缺点出发等方面出发做了归纳总结，为后文设备维护模型的搭建提供了理论支撑。　　然后，建立了基于视情维护的设备维护决策模型，此数学维护模型以串行生产系统为研究对象，结合了多种维护决策的优点，搭建了动态的生产线维护模型和成本分析模型，并运用更新定理等概率论方法对生产线维护模型给出了数学解析的方法。　　最后，以五台生产设备的串行线为研究对象进行算例仿真，结合MATLAB强大的数学仿真能力，对搭建的数学的模型进行仿真，并对成本分析模型进行优化和相关参数的敏感度分析。算例仿真结果表明建立的维护模型可靠且有效，优化的结果能很好的为设备维护管理提供理论依据。